发布日期:2024-08-08 03:25 点击次数:147
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近日,半导体中枢产线装备——半导体Overlay套刻装备提供商埃瑞微半导体完成Pre-A轮融资,卓源亚洲、金雨茂物聚首投资。这是继2024年1月源码老本、险峰长青、卓源亚洲、锡创投、中小企业发展基金;2024年3月金雨茂物、源码老本、卓源亚洲的种子+轮之后,7个月内的第三轮融资。
埃瑞微半导体独创团队来自于好意思国KLA上海研发中心、中国科学院微电子所、清华大学精密仪器系等顶尖居品及研发机构,系亚洲为数未几的成建制套刻树立团队,并曾承担国度多项首要专项课题的研发。「埃瑞微半导体」独创东说念主及CEO段洪伟来自于好意思国KLA上海研发中心,CTO盖洪峰博士为清华大学精密仪器系博士,曾任中国科学院微电子所筹议员,为国内中枢团队领有超越20年以上的研发、量产教诲。
埃瑞微半导体团队研制的量产树立可振奋大陆往时15年险些统共晶圆厂的支抓需求,相配关于16nm以下的先进制程的套刻需求,团队曾在台积电、三星等国外龙头晶圆厂量产。时时一台光刻机需要搭配3台傍边的套刻装备,光刻工艺中,套刻装备与光刻机瞄准修正,共同合作减少套刻纰缪。树立的纰缪要截至在允许纰缪的1/10。9nm套刻纰缪对应0,9nm,其居品质能凯旋影响光刻工艺良率。
偷拍自拍视频关于本轮融资快播伦理电影,卓源亚洲独创搭伙东说念主董事长林海卓博士暗示:“半导体Overlay套刻树立鸿沟KLA是前说念量检测树立⼏乎各鸿沟的龙头,各人⼏乎只好KLA和ASML,⽽KLA的市集占比超越60%。咱们高度看好埃瑞微半导体在国产化半导体中枢树立研发和量产中的教诲与本事上风。”